瀚超合金模具钢厂实践证明，模具零件采用真空热处理是目前最佳方式。真空热处理后模具寿命普遍有所提高，一般可提高40%~400%。真空热处理的关键是采用合适的设备即真空退火炉、真空淬火炉和真空回火炉。

    (1)真空退火炉其主要特点是真空度要求高(10-2~ 10-3 Pa)，炉子的升降应能自动控制，最好为微机系统。若有快冷装置，则可提高生产率。工艺与非真空炉退火基本相同；

    (2)真空淬火炉  气淬炉比淬油炉好。油淬时零件表面会出现白亮层，其组织为大量残余奥氏体，不能用温度为560℃左右的一般回火加以消除，需要更高温度(700~800℃)才能消除。气淬的表面质量好，变形小，不需清洗，炉子结构也较简单。一般处理高合金模具钢或高速钢模具零件，选用高压气淬炉或高流率气淬炉为理想。气淬压力为0.5~0.6MPa的高压气淬炉，Sb80~~llOmm的零件能淬硬。

    (3)真空回火炉  真空回火炉是不可缺少的，有些单位因无配套的真空回火炉而用普通炉回火，往往会出现表面质量差、硬度不均匀、回火不足等缺陷。若处理有回火脆性的钢种，一定要快冷，采用工作温度在700℃以下可进行对流加热的高压气淬炉最为理想，且一炉两用。

真空热处理工艺:

    (1)清洗采用真空脱脂方法是目前最先进和可靠的方法。

    (2)真空度真空度是重要的工艺参数。在高温高真空度下，钢中的合金元素易蒸发，会影响模具零件表面质量和性能。

    (3)加热与预热温度

    真空热处理的加热温度为1OOO～1100℃时，应在800℃左右进行一次预热。加热温度高于1200℃时，形状简单、小型的零件，在850℃进行一次预热，较大的或形状复杂的零件，应进行两次预热：第一次500~600℃；第二次850qC左右。

    (4)保温时间  由于真空加热主要靠辐射，而低温时辐射加热较慢，故平均加热速度比有对流的炉子慢，加热时间相应要延长，一般认为真空加热时间为盐浴炉的6倍；空气炉加热时间的2倍。

    设K为保温时间系数，B为零件有效厚度，丁为时间裕量、则保温时间C可按下式计算：C= KB+丁。K值和丁值见表2-1-6。

    (5)冷却  真空炉常用冷却气体为H2、He. N2、Ar。如以H2的冷却时间为1，则He.N2、Ar的冷却时间分别为1.2、1.5、1.75。空气中氢气含量大于5%时，就有爆炸危险；H2和02的混合气体中，当02含量超过5%时，也有爆炸危险。所以H2虽然冷却最快，但人们仍然很少采用。H2气的价格为N2气的10倍。国外最佳气体选择为60%~70%的He和30%~40%的N2。0.6MPa以上真空炉冷却气体可采用净化装置，再生利用，气体可多次循环利用（一般可达50次），可降低热处理成本。国内真空炉采用高纯氮(99 .ggo-/o)较多。一般用液氮装置。实践证明：0.6MPa的循环气体。流速为60~80m/s时，其冷却能力己达到或超过550℃盐浴冷却或冷却流态床。有较满意的冷却效果。